ВАКУУМ СПЕКТРОСКОПИЯСИ — спектроскопиянит ультрабинафша (200—10 нм) ва юмшоқ рентген нурлари (10 дан 0,4—0,6 нм) спектрларини ўрганиш билан шуғулланадиган бўлими. Тўлқин узунликларининг бу соҳасида ҳаво кучли ютиш хусусиятига эга бўлганлиги сабабли, спектрал асбоблар вакуумли бўлиши, яъни уларнинг оптик қисмлари, нурланиш манбалари ва қабул қилгичлари 10~4—10~5 мм сим. уст. босимли герметик камерага жойланган бўлиши керак. Вакуум спектроскопиясида нурланиш манбалари сифатида газ разряди, электр ёйи, рентген трубкалари ва лазер нурланишини вакуумда қаттиқ жисмга фокуслаш ёрдамида олинадиган плазмадан фойдаланилади. Спектрларни олиш усулларидан бири даста-плёнкали усул бўлиб, унда атом ёки ионлар спектри тез ионлар дастасининг юпқа фольга (зарқоғоз) орқали ўтиши натижасида уйғонади. B. C. қаттик, жисмлар атомлари, ионлари, молекулаларининг энергетик структурасини, ўтишлар эҳтимоллигини ва б. кўрсаткичларни тадқиқ этишда фойдаланилади. Вакуум спектроскопияси юқори т-рали плазмалар физикасида, шунингдек қуёш, юлдузларни ўрганишда катта аҳамиятга эга.