ВАКУУМ-МИКРОСХЕМАЛАР

ВАКУУМ-МИКРОСХЕМАЛАР — микроэлектрон технология асосида яратилган кўп функцияли электрон асбоб. В.-м. юқори вакуумли баллончадан иборат бўлиб, ичида маълум тартибда кўплаб микроэлектродлар жойлашган. Миллионлаб металл катодларни кимёвий усулда яратиш технологиясига асосланган. Микроэлектродлар кремний тагликка маҳкамланади, сўнгра таглик устига кетма-кет кремний оксид (SiO2) ва юпқа металл (кўпинча, молибден) қатламлари жойлаштирилади. Шу усулда ҳар 1 мм2 тагликка 10 мингтача микрокатод жойлаштириш мумкин. Микрокатодлар ниобий, молибден, олтин ва танталдан тайёрланади. Вакуумли интеграл микросхемалар қуйидаги афзалликларга эга: В.-м. ярим ўтказгичли микросхемаларга қараганда 20 марта тезроқ ишлайди, радиацияга. кучланиш ва т-ра ўзгаришларига чидамли; эмиттер атрофидаги электр майдонини бошқариш натижасида квант-механик эффектларга осон эришиш мумкин; таннархи эса ўхшаш микросхемаларга нисбатан юқори бўлмайди. В.-м. кўчма радиоалоқа тизимларида, иссиқликка чидамли датчикларда, реактив двигателлар ёки атом реакторлари ва б. электрон қурилмаларда қўлланилади.

---

Кирилл алифбосида мақола: ВАКУУМ-МИКРОСХЕМАЛАР ҳақида тўлиқ маълумот категорияси: В ҳарфи фикрингиз бўлса изоҳда қолдиринг ва дўстларингиз билан улашинг биз бундан минатдор бўламиз бизни кузатишни давом этинг (у ким, бу нима, қанақа ?, тушунчаси деган саволарга жавоб топишингиз мумкин)